Bereits 1823 berichtete Purkinje über eine Untersuchung der Kapillaren der Nagelfalz mit einer Lupe. Lombard beschrieb 1911 erstmals den Einsatz von Immersionsöl beim Mikroskopieren der Haut zur Beurteilung der Kapillaren. Die Standardisierung der Untersuchung und eine erste Fotodokumentation wurden von Weiss 1916 veröffentlicht. Müller gab 1922 einen ersten Atlas heraus, weitere folgten ebenso unter seiner Federführung. Brown beschrieb 1925 die Kapillarveränderungen beim Raynaud-Syndrom und im Folgejahr bei der Sklerodermie. In den 1930er-Jahren wurde die Kapillarmikroskopie in Deutschland verbreitet durch staatliche kapillarmikroskopische Untersuchungsstellen angewandt. Buchanan berichtete 1968 über den Stellenwert der Kapillarmikroskopie bei Kollagenosen. Maricq prägte erstmals in diesem Zusammenhang den Begriff „Muster“. Mit der der technischen Weiterentwicklung und der Etablierung der dynamischen Videokapillaroskopie durch Cutolo 2000 erlebte die Kapillarmikroskopie eine Renaissance, insbesondere durch die Vereinfachung auf die drei Muster „early“, „active“ und „late“.