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RF-MEMS sind mikroelektromechanische Systeme, die Funktionen im Hochfrequenzbereich zur Verfügung stellen. Sie umfassen Frequenzen vom Kilohertz- bis in den Gigahertzbereich. Klassische RF-MEMS sind Oszillatoren, HF-Schalter und Filter.

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RF-MEMS

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  • 发表日期：

    2025年

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  • Dirk Zielke

摘要

RF-MEMS sind mikroelektromechanische Systeme, die Funktionen im Hochfrequenzbereich zur Verfügung stellen. Sie umfassen Frequenzen vom Kilohertz- bis in den Gigahertzbereich. Klassische RF-MEMS sind Oszillatoren, HF-Schalter und Filter.