MEMS-Aktoren sind im Vergleich zu MEMS-Sensoren deutlich schwerer zu realisieren. Das liegt vor allem an den sehr geringen Kräften und Auslenkungen, die ein MEMS-System erzeugen kann. Deshalb werden MEMS-Aktoren vor allem für den Antrieb von Bewegungen in MEMS-Systemen genutzt (z.B. Gyroskope oder Oszillatoren). Sie werden aber auch in optischen (z.B. Spiegelsysteme), fluidischen (z.B. Inkjetköpfe) oder akustischen Systemen (Mikrolautsprecher) eingesetzt.