Der Herstellungsprozess von Mikrosystemen baut in starkem Maße auf Prozeßschritte und Technologien der Mikroelektronik auf. Hierbei können die Hersteller auf einen Technologiepool zurückgreifen, welcher die Siliziumherstellung als auch die Halbleitertechnologien beinhaltet. Ergänzt werden die Technologien durch Prozesse, die zur dreidimensionalen Strukturierung der MEMS-Bausteine notwendig sind. Ähnlich verhält es sich bei der Aufbau- und Verbindungstechnik. Auch hier werden Standardprozesse der Mikroelektronik genutzt.