Sensoren stellen eine entscheidende Verbindung zwischen elektronischen Baugruppen und ihrer Umgebung dar. Sie sind ein wesentlicher Bestandteil moderner Elektroniksysteme. In den vergangenen Jahren hat die Sensorik erhebliche Fortschritte gemacht. Dies ist auf den zunehmenden Einsatz von Mikrosystemtechnik in der Sensorherstellung und das Angebot von leistungsstarken, energieeffizienten Mikrocontrollern zurückzuführen.

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Einführung in die Welt der MEMS

  • Dirk Zielke

摘要

Sensoren stellen eine entscheidende Verbindung zwischen elektronischen Baugruppen und ihrer Umgebung dar. Sie sind ein wesentlicher Bestandteil moderner Elektroniksysteme. In den vergangenen Jahren hat die Sensorik erhebliche Fortschritte gemacht. Dies ist auf den zunehmenden Einsatz von Mikrosystemtechnik in der Sensorherstellung und das Angebot von leistungsstarken, energieeffizienten Mikrocontrollern zurückzuführen.