Andere Nanofertigungsprinzipien und technologische Durchbrüche
摘要
Mit Fokus auf die wesentlichen Forschungsziele der Nanopräzisionsfertigung, der Fertigung im Nanomaßstab und der Cross-Scale-Fertigung in der Nanofertigung richtet sich dieser Hauptforschungsplan auf unterteilte Bereiche wie die Herstellung von Nanomaterialien, spezielle Nanobearbeitungsmethoden, integrierte Herstellung von Nanobauteilen sowie Nanometertechnik und -messung.