Skalenübergreifende integrierte Fertigung von Nanostrukturen und Bauelementen
摘要
Auf der Grundlage der Nanopräzisionsfertigung und der Nanostrukturfertigung ist die Integration von Nano-/Subnanopräzision und Mikronano-Multiskalenstrukturen und Cross-Scale-Manufacturing der einzige Weg für die Nanofertigung, um sich in Richtung industrieller Anwendung zu bewegen und großen nationalen Ingenieuranwendungen zu dienen.