Konsistente Herstellung von makro-, mikro- und nanoskaligen Strukturen
摘要
Nanotechnologie wird in vielen Bereichen wie IT, Optoelektronik, Materialien, Umwelt, Energie, Biologie, Medizin und nationale Verteidigungssicherheit weit verbreitet eingesetzt. Nanostruktur ist der funktionale Träger von fast allen Nanobauteilen/Produkten/Systemen, und ihr Formungsprinzip und -verfahren sind einer der Forschungsschwerpunkte der Nanofertigung. Ein planares Objektiv beispielsweise, ein Objektiv mit einer Dicke von nur 1 µm kann alle Arten von Lichtwellen jeglichen Polarisationszustands auf einen Punkt fokussieren, und seine Bildleistung entspricht der eines erstklassigen komplexen Linsensystems. Der funktionale Träger des planaren Objektivs ist seine Nanostruktur, die hauptsächlich durch „Superpixel“-Struktur mit charakteristischer Skala unterhalb von zehn Nanometern gekennzeichnet ist; nanostrukturierte Materialien sind funktionale Materialien, z. B. fotoelektrische Materialien wie TiO2; die Skala auf Bauteile- oder Systemebene kann mehr als 10 mm erreichen, was eine große Formatkonsistenz und Morphologiegenauigkeit gewährleistet.