Nano-/Subnanometer-Präzisionsfertigung
摘要
Die Fertigung von Oberflächen mit Nanopräzision wird in vielen Hightech-Bereichen wie der Herstellung von integrierten Schaltkreisen (VLSI) und der hochpräzisen optischen Fertigung eingesetzt, die eine starke Unterstützung für die Entwicklung von Verteidigung, Wirtschaft, Wissenschaft und Technologie bietet. Als Beispiel sei die integrierte Schaltung (IC) genannt, bei der die hochpräzise Waferverarbeitung und die hochpräzise Lithographie von Objektivlinsen zwei entscheidende Technologien in der IC Fertigung sind.