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Auflösungseffekte des Sensorsubstrates

  • Alexander Kyriazis

摘要

Abhängig von der Prozessführung können sich einige thermoplastische Folien in Epoxidharz auflösen, darunter auch Polyetherimid, das in Kap. 3 als mechanisch besonders geeignet identifiziert wird. Die Auflösung der Sensorstrukturen wirft im Kontext integrierter Sensoren vor allem zwei Fragen auf: Einerseits ist zu klären, wie sich Auflösungseffekte auf die Integrität der Sensorstrukturen auswirken. Andererseits stellt sich die Frage, ob die Auflösung der Sensorstrukturen der maßgebliche Mechanismus für Festigkeitssteigerungen ist. Experimentelle Untersuchungen zeigen, dass nur in einem sehr schmalen Temperaturfenster eine teilweise Auflösung der thermoplastischen Trägerfolie zu erreichen ist, ohne dass die Sensorstrukturen dabei zerstört werden. Gleichzeitig ist die Auflösung nicht der allein verantwortliche Mechanismus für die festigkeitssteigernde Wirkung von PEI. Letztendlich ist die Auflösung des Sensorsubstrates potentiell schädlich für die Sensorstrukturen und aus mechanischer Sicht nicht nötig. Damit stellen Auflösungseffekte eher ein Risiko für die Sensoren als eine Chance dar.