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Mikro- und nanomechanische Untersuchungstechniken

  • Goerg H. Michler

摘要

Die vielfältigen mechanischen Tests gehen von standardisierten Prüfkörpern aus. Damit wird im Allgemeinen das makroskopische, durchschnittliche Materialverhalten bestimmt. Lokale Effekte, wie sie durch Spannungskonzentrationen, thermo-mechanische Belastungen, herstellungsbedingte Eigenspannungen oder Materialinhomogenitäten auftreten, werden so überdeckt. Auch durch die Miniaturisierung von Bauteilen erfolgte schon in der Vergangenheit ein Übergang von der Makro- zu einer Mikroprüftechnik. Beispiele sind die Mikro-Eindrucktests und andere Untersuchungen einschließlich der verschiedenen mikroskopischen Techniken, wie Lichtmikroskopie, Transmissions-Elektronenmikroskopie, Raster-und Umgebungs-Raster-Elektronenmikroskopie, Raster-Kraftmikroskopie und anderer. Mikromechanische in-situ-Untersuchungen sind in vielfältiger Form möglich, wobei oft auch miniaturisierte Probenformen und spezielle Dehnvorrichtungen für die Beobachtungen in den verschiedenen Mikroskopen entwickelt wurden. Ein spezieller Vorteil mikromechanischer Tests im Elektronenmikroskop ist eine „dehnungsinduzierte Kontrastverbesserung“, die eine verbesserte Strukturerkennbarkeit gemeinsam mit den Deformationsstrukturen erlaubt.