Die Experimente wurden mit einem kommerziellen planaren Typ 2 unbalanced Magnetron (Angstrom Sciences Onyx-2 TM) mit 2" Targetdurchmesser durchgeführt. Für die Versuche wurden 8 mm dicke Kupfertargets verwendet, die im Magnetron indirekt wassergekühlt sind. Das Magnetron ist oben an der Versuchsanlage eingebaut. Die Kammer hat ein Volumen von \(26\,\textrm{l}\) und besteht aus nichtmagnetischem Edelstahl. Es wurde stets Argon als Prozessgas bei Prozessdrücken von.1−13 Pa verwendet.