Für ein möglichst umfassendes Verständnis der untersuchten Magnetonsputterprozesse werden verschiedene Diagnostiken verwendet, deren Messprinzipien im Folgenden beschrieben sind. Zunächst werden dabei die Diagnostiken zur Untersuchung des Plasmas und des Energieflusses auf eine Substratoberfläche behandelt, wie etwa die passive Thermosonde, eine sogenannte nicht-konventionelle Diagnostik zur Messung des integralen Energieflusses. Die Ionenenergieverteilung wird über einen Gegenfeldanalysator und energieselektive Massenspektrometrie bestimmt, optische Emissionsspektroskopie gibt Einblicke in die Plasmazusammensetzung. Die Diagnostiken für das Schichtwachstum und die Schichtmorphologie werden im zweiten Teil des Kapitels vorgestellt.