Correction: Integrated silicon photonic MEMS

• 期刊论文

• 出版模式：

  开放获取

• 发表日期：

  2024年1月24日

• Niels Quack,
• Alain Yuji Takabayashi,
• Hamed Sattari,
• Pierre Edinger,
• Gaehun Jo,
• Simon J. Bleiker,
• Carlos Errando-Herranz,
• Kristinn B. Gylfason,
• Frank Niklaus,
• Umar Khan,
• Peter Verheyen,
• Arun Kumar Mallik,
• Jun Su Lee,
• Moises Jezzini,
• Iman Zand,
• Padraic Morrissey,
• Cleitus Antony,
• Peter O’Brien,
• Wim Bogaerts