Doping and minority carrier lifetime uniformity of 4H-SiC homoepitaxial layers: role of C/Si ratio distribution

期刊论文
发表日期：

2025年9月11日

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Wenji Liu,
Zhouyu Tong,
Cong Zhang,
Xuefeng Han,
Rong Wang,
Deren Yang,
Xiaodong Pi

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